产品描述: MS763是一款生物学传感器,所有的引线都在芯片的一侧,适合用作植入式传感器。焊盘都很大,以便焊接或粘接引线。压力芯片的主要组成部分是MEMS硅片。植入电阻利用压阻效应感应硅片的形变,并转换成电信号。MS763有不带耐热玻璃的差压传感器(MS763-S)和带0.2 mm厚Pyrex耐热玻璃的绝压传感器(MS763-A)两种型号。
特点:
- 未经补偿的压力芯片
- 尺寸小,用于植入式传感器
- 引线在芯片一侧
- 灵敏度:0.075mV/mmHg @ 5V
- 工作温度:-40°C ~ +125°C
- 线性:0.15%(典型值)
- 芯片尺寸:1.0 x 2.20mm²
MS763是一个医疗用的绝压或差压传感器。它被设计成植入型传感器,所有的焊盘在一边。邦定焊盘足够大,方便粘接和邦定线。MS763的基础组成是硅微机加工膜。植入的电阻利用压阻效应感知膜的变形。MS763可作为压差传感器(MS763-S),没有耐热玻璃, 或绝压传感器,带有0.2mm 耐热玻璃(MS763-A).0 到300 mmHg 压力范围 (0.4bar 或5.8PSI);符合RoHS 和无铅
全压力范围
Kpa | bar | mbar | PSI | atm | mm Hg | m H2O | Inches H2O |
40 | 0.4 | 400 | 5.8 | 0.4 | 300 | 4.1 | 161 |
绝对最大率
参数 | 符号 | 条件 | Min | Max | Unit |
供应电压 | VS+ | Ta=25℃ | 20 | V | |
储存温度范围 | Ts | -40 | +125 | ℃ | |
过压 | 20 | Bar |
电气特性
(Reference conditions:Supply Voltage VS+=5Vdc; Ambient Temperature Ta=25℃)
参数 | 最小 | 典型 | 最大 | 单位 | 备注 |
工作压力范围 | 0 | - | 0.4 | Bar | |
工作温度范围 | -40 | 125 | ℃ | ||
桥路电阻 | 3.0 | 3.4 | 3.8 | KΩ | |
满量程 | 18 | 22.5 | 27 | mV | |
零点 | -40 | 0 | 40 | mV | |
线性 | ±0.15 | ±0.2 | %FS | 1 | |
温度系数 电阻 量程 零点 | +2400 -1500 -80 | +2800 -1900
| +3300 -2300 +80 | ppm/℃ ppm/℃ μV/℃ | 2 |
压力迟滞 | 0.05 | ±0.15 | %FS | 3 | |
重复性 | 0.05 | ±0.15 | %FS | 4 | |
温度迟滞 | 0.3 | %FS | 5 |
订购信息
产品 | 类型 | 产品说明 | 编号 |
MS763-A | Absolute | 300mmHg Pressure Sensor 0.2mm Pyrex sawn on b/f | 76325022 |
MS763-S | Differential | 300mmHg Pressure Sensor sawn on b/f | 76325221 |
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