产品型号:MS761产品名称:压力传感器晶元
产品特性:未补偿的传感器Die;高灵敏度:输出满量程240mv@5V;线性度: 0.15% (典型);小尺寸:2.00x1.86mm;温度范围: -40℃~+125℃;低成本,高可靠性
压力类型:绝压,差压
产品应用:高精度绝压压力系统,引擎控制,气压计,高度计,压力计
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 MS761压力传感器晶元的基础组成是在耐热玻璃上真空封装上硅微机加工膜。植入的电阻利用压阻效应。绝压传感器MS761-A在膜下面有个真空参考腔,差压传感器MS761-D的背面耐热玻璃中间有个孔。0 到100kpa 压力范围 (1bar 或14.5PSI);高灵敏度;符合RoHS 和无铅

 全压力范围

KpabarmbarPSIatmmm Hgm H2OInches H2O

100

1

1000

14.5

0.987

750

10.197

401

绝对最大率

参数

符号

条件

Min

Max

Unit

供应电压

VS+

Ta=25℃

 

20

V

储存温度范围

Ts

 

-40

+125

过压

   

5

Bar

电气特性

                                 (Reference conditions:Supply Voltage VS+=5Vdc; Ambient Temperature Ta=25℃)

参数

最小

典型

最大

单位

备注

工作压力范围

0

-

1

bar

 

工作温度范围

-40

 

125

 

桥路电阻

3.0

3.4

3.8

 

满量程

190

240

290

mV

 

零点

-40

0

40

mV

 

线性

 

±0.15

±0.4

%FS

1

温度系数            电阻

                            量程

                           零点

+2400

-1500

-100

+2800

-1900

 

+3300

-2300

+100

ppm/℃

ppm/℃

μV/℃

2

压力迟滞 

0.05

±0.15

%FS

3

重复性 

0.05

±0.15

%FS

4

温度迟滞  

0.3

%FS

5

订购信息

产品类型产品说明编号
MS761-A

绝压

1 bar Pressure Sensor Die sawn on b/f76125021
MS761-A_0.2

绝压

1 bar Pressure Sensor Die 0.2mm Pyrex sawn on b/f76125022
MS761-D

差压

1 bar Pressure Sensor Die sawn on b/f76125121

The MS761 dice are supplied sawn on blue foil, mounted on plastic rings

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