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- 产品型号:MS767产品名称:压力传感器晶元(0-7bar)
产品特性:未补偿的传感器Die;尺寸:1.72x1.58mm ;输出满量程392mv @5V;温度范围: -40℃~+125℃;线性度: 0.15% (典型);低成本,高可靠性
压力类型:绝压
产品应用:高精度绝压压力系统;轮胎气压测量;电子称
MS767的基础组成是硅微机加工膜和真空安装下的耐热玻璃。植入的电阻利用压阻效应感知膜的变形。MS767作为绝压传感器在膜下有密封真空参考腔。
由于传感器的基础元素是扩散电阻,地(GND1,GND2)上的电压必须低于电压脚(Vs+)上的电压。扩散层连接到Vs+。
MS767有个敏感膜(0.5x0.5mm),传感器外直径是1.62x1.48mm。 吸取和放置工具应该为软材料如橡皮(硬度78-97 Shore A). 它的外部尺寸必须符合传感器。 真空腔要和膜一样大。
全压力范围
kPa | bar | mbar | PSI | atm | mm Hg | m H2O | Inches H2O |
700 | 7 | 7000 | 102 | 6.9 | 5250 | 71 | 2810 |
绝对最大比率
参数 | 符号 | 条件 | 最小 | 最大 | 单位 |
供应电压 | VS+ | Ta = 25℃ | 20 | V | |
存储温度 | Ts | -40 | +150 | ℃ | |
过压 | 21 | Bar |
电气特性
(Reference conditions: Supply Voltage VS+ = 5 Vdc; Ambient Temperature Ta = 25℃ )
参数 | 最小 | 典型 | 最大 | 单位 | 备注 |
工作压力范围 | 0 | 7 | Bar | ||
工作温度范围 | -40 | 125 | ℃ | ||
桥路电阻 | 3.0 | 3.4 | 3.8 | KΩ | |
Full-scale span (FS) | 322 | 392 | 462 | mV | |
Zero Pressure Offset | -40 | 0 | 40 | mV | |
线性 | ±0.15 | ±0.4 | % FS | 1 | |
电阻温度系数 TCR 满量程温度系数 TCS 零点温度系数 TCO | + 2400 - 1500 - 80 | + 2800 - 1900
| + 3300 - 2300 + 80 | ppm/℃ ppm/℃ μV/℃ | 2 |
压力迟滞 | ±0.05 | ±0.15 | % FS | 3 | |
重复性 | ±0.1 | ±0.2 | % FS | 4 | |
温度迟滞 | 0.3 % | FS | 4 |
NOTES
1) Deviation at one half full-scale pressure from the least squares best line fit over pressure range (0 to 7 bar).
2) Slope of the endpoint straight line from 25℃ to 60℃.
3) Output deviation at any pressure within the specified range, when this pressure is cycled to and from the minimum or maximum rated pressure, at 25℃.
4) Same as 3) after 10 pressure cycles
5) Maximum difference in offset after one thermal cycle from -40℃ to +125℃.
订购信息
产品 | 产品描述 | 编号 |
MS767A-0.5 | 700 kPa Absolute Pressure Sensor with PyrexTM0.5 mm thick (standard) | 76710025 |
MS767A-0.2 | 700 kPa Absolute Pressure Sensor with PyrexTM0.2 mm thick | 76710022 |
The MS767 dice are supplied sawn on blue foil, mounted on plastic rings
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