MEAS的气体流量传感元件由快速响应的镍热膜和氮化硅基板组成,以确保传感器的高灵敏度和快速响应速度。传感器适合汽车行业的应用。芯片还包括一个用于补偿环境温度的参考传感器,由与热膜相同材料的镍电阻薄膜制成。该型号用于单向气流测量。
阻值 @ 25°C & TCR:热膜:1x45Ω和6260ppm/K,参考传感器:2x850Ω和6260ppm/K
典型应用: 气体流量测量,发动机进气口气体流量测量,工业气流测量,医疗
行业: 发动机和机动车辆, 工业控制, 医疗
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